在普通的DC溅射中,靶附着在等离子体上但靶变成了阳极,而中频双靶溅射是为了使其在等离子体中呈中性,真空溅射镀膜用的脉冲电源很少见,交变磁场在工件中产生相同频率的感应电流,中频电源用于中频双靶溅射,即电源的两极连接两个靶,避免靶中毒,射频电源用于射频溅射射频电源在真空室中产生电子,电子撞击氩气形成等离子体轰击靶材,射频电源用于生成射频电力电源。1、脉冲电源,中频电源,射频电源上面那个人已经解释了概念,那我就说说应用吧。中频电源用于中频双靶溅射,即电源的两极连接两个靶,避免靶中毒。在普通的DC溅射中,靶附着在...
更新时间:2023-01-04标签: 中国射频电源市场规模双靶中频射频激光器直流电 全文阅读