在普通的DC溅射中，靶附着在等离子体上但靶变成了阳极，而中频双靶溅射是为了使其在等离子体中呈中性,真空溅射镀膜用的脉冲电源很少见,交变磁场在工件中产生相同频率的感应电流,中频电源用于中频双靶溅射，即电源的两极连接两个靶，避免靶中毒,射频电源用于射频溅射射频电源在真空室中产生电子，电子撞击氩气形成等离子体轰击靶材,射频电源用于生成射频电力电源。
上面那个人已经解释了概念，那我就说说应用吧。中频电源用于中频双靶溅射，即电源的两极连接两个靶，避免靶中毒。在普通的DC溅射中，靶附着在等离子体上但靶变成了阳极，而中频双靶溅射是为了使其在等离子体中呈中性。而且可以提高溅射率。射频 电源用于射频溅射射频 电源在真空室中产生电子，电子撞击氩气形成等离子体轰击靶材。射频溅射最大的优点是可以制备从导体到绝缘体的薄膜。脉冲电源我不确定。真空溅射镀膜用的脉冲电源很少见。
2、感应加热和 射频加热有什么区别?射频电源用于生成射频电力电源。其输出一般为正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等，它的输出功率从几十瓦到几十千瓦不等，输出阻抗为一。感应加热:工件放在感应器里，上海欧感电感应器一般是空心铜管，中频或高频交流输入，交变磁场在工件中产生相同频率的感应电流。感应电流在工件中分布不均匀，表面强，内部弱，中心接近零，利用这种趋肤效应，可以快速加热工件表面，几秒钟内表面温度就会上升到800-1000℃，而中心的温度上升很少。
